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產品分類: UVW相位臺
產品名稱: Z軸升降機構
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XXY精密對位平臺 – Z軸升降式

臺面尺寸 : 350x350、600x600 (mm)

基座尺寸 : 350x410、620x660 (mm)

★ 超薄型、輕量化平臺-采用Mini stage Xyθ模塊化結構,實現無中座的薄且輕的機構

★ 透過特殊交叉滾柱軸承施加預壓,達高剛性、高精度表現

★ 中空結構設計,可作為光學式檢查裝置或導通測試器使用

★ 在各運動軌道加入潤滑系統,提高對位平臺使用的壽命及精度

★ 材料皆經超深冷處理,有效預防變型,大幅提升使用壽命,質量及效能

★ 實行三次元全檢,保證滑臺出廠精度與質量

 

型號

工作臺面尺寸 (mm)

基座尺寸 (mm)

行程 (mm)

水平負載能力 (kgf)

WNAZS350

350x350

350x410

±15

Fv 200 ; Fs 200

WNAZS600

600x600

620x660

5

Fv 200 ; Fs 400


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