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產品分類: UVW相位臺
產品名稱: WNGAS03系列
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XXY精密對位平臺

臺面尺寸 : 1000、1500 (mm)

基座尺寸 : 1200、1700 (mm)

機械作動原理-中央/側邊傳動-標準型、高剛性型

★ 超薄型、輕量化平臺-采用Mini stage Xyθ模塊化結構,實現無中座的薄且輕的機構

★ 透過特殊交叉滾柱軸承施加預壓,達高剛性、高精度表現

★ 中空結構設計,可作為光學式檢查裝置或導通測試器使用

★ 在各運動軌道加入潤滑系統,提高對位平臺使用的壽命及精度

★ 材料皆經超深冷處理,有效預防變型,大幅提升使用壽命,質量及效能

★ 實行三次元全檢,保證滑臺出廠精度與質量

 

WNAS03-1000CC

1000x1000

1200x1200

±15x±15

160

WNAS03-1000RS

1000x1000

1200x1200

±15x±15

200

WNAS03-1500CC

1500x1500

1700x1700

±15x±15

160

WNAS03-1500RS

1500x1500

1700x1700

±15x±15

200



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