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產品分類: UVW相位臺
產品名稱: 相位臺:WN700UVW12X12X4
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產品特征:
1. 采用了劃時代性模組結構的超薄型平臺
在底座、工作臺之間裝上組合了滑臺組和特殊交叉滾柱軸承,實現了超薄型結構。
2. 高剛性、高精度
高品質精磨級滾珠絲杠驅動,小導程,相同細分可達到高的分辨率級高的重復定位精度。
3. 超薄型、輕量化、中空結構
中空結構設計,可作為光學式檢查裝置或導通測試器使用
4 .潤滑系統
在各種運動軌道加入潤滑系統,提高對位平臺使用的壽命及精度。
5. 產品整體機構薄且輕,內部結構緊湊,可實現同時進行X軸的平移、Y軸的平移、Z軸的旋轉??蓪崿F任意位置再運動。
6. 材料皆經超深冷處理,有效預防變型,大幅提升使用壽命
產品應用:
1.面板貼膜
2.3D網版印刷
3.玻璃側角及磨邊設備
4.Wafe對位設備
5.P.C.D曝光設備
6. 軟體裁切設備
7. 半導體設備

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工作臺面尺寸(mm)

200x200

基座尺寸(mm)

350x350

行程(mm)

±12x±12

中心角度(θ)

±4°

滾珠螺桿導程(mm)

1

高度(mm)

50

中孔(mm)

60

水平負債能力(Kgf)

80

主體材質

鋁合金

工作臺表面處理

黑色表面處理

往復定位精度(μm)

2

電機類型

2相步進

電機輸出軸形式

42單輸出軸

本體重量(Kg)

10


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